激光干涉仪 是激光在计量领域中成功的应用之一 , 是工业中具的长度测量仪器。它可用于精密机床、大规模集成电路加工设备等的在线在位测量、误差修正和控制。激光干涉仪采用外差干涉测量原理 , 克服了普通单频干涉仪测量信号直流漂移的问题 , 具有信号噪声小、抗环境干扰、允许光源多通道复用等诸多优点 , 使得干涉测长技术能真正用于实际生产。
工作原理
1、 激光从激光干涉仪出来在分光镜处分为两束,一束为参考光由固定角锥反射镜反射,另一束为测量光由移动反射镜反射,并与参考光合束,产生干涉;
2、 通过干涉环的增减来判断移动的角锥反射镜移动的距离。
产品功能
中图 SJ6000 激光干涉仪 可以对机床进行静态测量和动态测量。静态测量可以进行线性,角度,平面度,直线度和垂直度等测量;动态测量可以进行速度、加速度分析,振动分析等。
系统性能
² 测量方式:单频
² 稳频精度: 0.05ppm
² 动态采集频率: 50 kHz
² 预热时间: 5-10 分钟
² 工作温度范围: 0~40 ℃
² 环境温度范围: 0~40 ℃
² 存储温度范围: -20 ℃ ~70 ℃
环境补偿示值误差
² 空气温度传感器:± 0.2 ℃ (0-40 ℃ ) ,分辨率 0.01 ℃
² 材料温度传感器:± 0.1 ℃ (0-40 ℃ ) ,分辨率 0.01 ℃
² 空气湿度传感器:± 6% (0-95%)
² 大气压力传感器:± 1mBar (650-1150mbar)
中图 SJ6000 激光干涉仪 可以对机床进行静态测量和动态测量。静态测量可以进行线性,角度,平面度,直线度和垂直度等测量;动态测量可以进行速度、加速度分析,振动分析等。
系统性能
² 测量方式:单频
² 稳频精度: 0.05ppm
² 动态采集频率: 50 kHz
² 预热时间: 5-10 分钟
² 工作温度范围: 0~40 ℃
² 环境温度范围: 0~40 ℃
² 存储温度范围: -20 ℃ ~70 ℃
环境补偿示值误差
² 空气温度传感器:± 0.2 ℃ (0-40 ℃ ) ,分辨率 0.01 ℃
² 材料温度传感器:± 0.1 ℃ (0-40 ℃ ) ,分辨率 0.01 ℃
² 空气湿度传感器:± 6% (0-95%)
² 大气压力传感器:± 1mBar (650-1150mbar)