在德国，耶拿
地区以生产蔡司光学产品而闻名。位于该地区的
耶拿尔（JENAer）
公司生产的
ZLM700
双频激光干涉仪
在同类产品中，由于具有的性能优势和简单的操作方法而久负盛名。
由本公司代理，德国耶拿尔
JENAer
公司生产的双频激光干涉仪是真正意义上的双频干涉仪，并非单频干涉原理。
产品功能 定位精度、重复定位精度、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速度、圆形轨迹、微振动测量，还能够测量数控机床回转台的定位精度和重复定位精度等，从而实现定位、校准、控制和补偿。ZLM 700 主要用于单轴系统的校准和测量， 广泛应用于高速动态加工工艺中的机械定位和系统控制。 性能优势
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真正意义上的双频激光干涉仪，频差为
640MHz
。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”的区别。双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商，德国耶拿尔公司是其中的一家。
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全部部件皆在德国生产制造，绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜，是世界上一家将的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。
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测量系统采用模块化设计，各种测量功能之间互不影响。若用户先期只需要干涉仪的部分功能（如仅测量直线度），则仅采购所需功能部分的光学部件（直线度光学镜），其他不需要的功能暂时可以不采购；若后期有其他功能的需求，补充采购功能对应的部件即可。
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激光器寿命更长，可达
20000
小时，激光稳频精度高，一小时内为
±0.002ppm
，在产品寿命内可达
±0.02ppm
。
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干涉镜采用差分干涉原理，系统精度更高，可达
±0.4ppm
。
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计算机辅助光路调整，调整结果更准确。
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采样频率更快，达
1MHz
，可在
0.001Hz-1MHz
之间进行选择。
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被测物体速度
16m
/s
（可选）；采用高精度
AE950 PCI
数据处理器，分辨率达
0.6nm
（当移动速度为
1m
/s
时，线性分辨率更可高达为
0.1nm
）。
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无加速度限制；当光线微弱时，性能也十分稳定。
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信号延时
<200ns
；对电磁干扰不敏感。
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对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量，请选用
ZLM800
型双频激光干涉仪，最多可实现六轴联动
。
工作原理
ZLM700
激光干涉仪使用氦氖激光器，采用双频外差式工作模式。
激光稳频精度为+/-
0.002ppm
，
640MHz
的频差用于信号处理。这种高频处理信号能够对高速物体进行测量，不会出现干扰误差，信号延时时间极短。
采用光纤电缆，把来自干涉镜的信号传输到计算机卡槽连接的电子计数器上，避免了外部电磁环境对测量信号的干扰。因此，
ZLM700
双频激光干涉仪特别适用于恶劣的生产环境、标准化实验室和高真空环境。
技术参数
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应用光路图
以上为直线度测量示意图，包括水平方向直线度和垂直方向直线度
以上是平面度测量示意图
以上是垂直度测量示意图
以上是位移、线性度、速度、加速度、定位精度测量示意图
以上是对角测量示意图
以上是俯仰角测量示意图
以上是偏摆角测量示意图
以上是滚动角测量示意图
以上是回转台定位精度测量示意图
以上是对长度标准器（长度规）进行标定的应用
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