产品简介
气体质量流量计 气体流量计 微型流量传感器 厂家
FS4000是采用的微机电系统（MEMS）流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。
产品详细信息
气体质量流量计 气体流量计 微型流量传感器 厂家
型号：FS4000系列
-
产品概述：MF4000系列带数显；FS4000系列不带数显
FS4000是采用的微机电系统（MEMS）流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等）
FS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。
FS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围到50SLPM；可用于麻醉设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等
产品特点:
-专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而
设计
-支持多种连接方式，易于安装与使用
-传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
-在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高
-输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
-零点稳定度高
-全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性
-低功耗、低压损
-响应速度快
机械尺寸:
产品特点:
性能参数
FS4003
FS4008
单位
通径
3
8
mm
流量
2, 3, 4, 5
10, 20, 30, 40, 50
SLPM
量程比
≥100:1
精度
±(1.5+0.2FS)
%
重复性
0.25
%
零点输出飘移
±30
mV
输出飘移
±0.12
%/℃
响应时间
10（默认，50，100，200，500，1000可设置）
msec
工作电源
8~18Vdc,50mA
输出方式
线性，RS232/RS485,模拟电压0.5~4.5Vdc
流量压损
100
600
Pa
工作压力
0.5
MPa
工作温度
-10 ~ + 55
℃
存储温度
-20 ~ + 65
℃
工作湿度
<95%RH（无结冰、无凝露）
机械接口
BSPT1/4（R1/4）,4mm/6mm/8mm快速接头
校准方式
空气（或其他气体），20℃，101.325kPa
重量
57（带R1/4,BSPT1/4接口） 71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头)
g
- MF4003-2-R-BV-A
- MF4003-5-R-BV-A
- MF4008-10-R-BV
- MF4008-50-R-BV
- FS4003-2-R-BV-A
- FS4003-5-R-BV-A
- FS4008-10-R-BV
- FS4008-50-R-CV
- FS4001-1000-CVA
