在真空系统维修顶用户头疼的必然是检测漏率问题了。漏分内漏和外漏;外漏斗劲好检测，内漏则难办些。外漏较大的漏点可以用火焰法，操作气流能使火焰偏离的道理，先抽上真空，用蜡烛在可疑点附近慢慢查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。内漏则要从分歧真空工作区域分区排查，在真空系统达到必然压力值后，分袂启动卷绕和蒸发系统，察看普诺克真空泵计的读数在短暂下降后有无爬升，可以初步判断内漏点标的目的。
内漏多发生在有水冷却点的设备上，在查外漏没有发现疑点，可是却有以下现象：机械泵的抽速较着偏低，真空计示值低，机械泵油很快乳化，真空室内的铁基零部件较着锈蚀等，具备以上条件根基可以揣度内漏，先将腔体清理干净，再通冷却水，仔细查看通水管路有无潮湿点，潮湿处就是漏点。
可以操作在高真空状态下电离管对某些气体反映敏感来检漏，好比丙酮或乙醇，用打针器向可疑的处所喷射丙酮或乙醇，连系指针式真空计，喷到漏点时，电离计的指针会有较着摆动，用这种方式检漏必然要有耐心，要等到电离计的示值不变了，也就是真空机组的抽气能力和漏率均衡了，再喷射，反复几回，确认漏点。
在维修真空泵的时候切记不成操之过急，故障没搞清楚就想当然地开始动手拆卸，会旧病未除又添新病，把本来简单的问题搞复杂化了。
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