选择HMDS烘箱的容积
内腔尺寸:450*450*450mm,1-8寸片均适用,4寸晶圆可处理200P/次;
HMDS烘箱真空泵的选择
根据腔体容积,选配合适型号的真空泵。常用涡旋式真空泵又分为油泵和干泵。
◆ 低噪声,低振动
3.HMDS烘箱辅助功能选择:
◆HMDS药液泄漏报警提示功能
◆HMDS低液位报警提示功能
◆工艺数据记录功能
◆药液管道预热功能
◆程序锁定保护等功能
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