上海隽思实验仪器有限公司
中级会员 | 第10年

18016281599

半导体烘烤设备
HMDS烘箱
环境检测试验箱
烘箱、烤箱
超低温试验箱
橡塑检测仪器设备
低温脆性试验仪
线缆检测仪器设备
导体直流电阻测试仪
材料检测试验机
密度计,电子密度测试仪
氮气柜
黑蒜发酵设备
黑蒜机,黑蒜箱

男女呻吟久久免费视频 HMDS Coater(HMDS 涂布机)使用范围

时间:2013/8/14阅读:3610
分享:

HMDS Coater(HMDS 涂布机)用途:

   HMDS Coater是通过对箱体内预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。

HMDS Coater(HMDS 涂布机)技术指标:


1设备名称

HMDS Coater(HMDS 涂布机)

2、设备型号

 JS-HMDS90-AI/MES

3、设备主要技术参数                                                          

3.1 尺寸*宽*高

内腔尺寸:350×350×350/450×450×450(mm)可定制


3.2 材质

外箱采用优质冷轧板喷塑,内箱采用316L医用级不锈钢

3.3 温度使用范围

80-200℃

3.4 温度分辨率

0.1℃

3.5 温度波动度

±0.5

3.6 真空度

133pa(1torr)

3.7 洁净度

设备采用无尘材料,适用100级光刻间净化环境

3.8电源及总功率

AC 220V±10% / 50HZ       总功率约3.5KW    

3.9 控制仪表

人机界面

3.10搁板层数

2层

3.11 HMDS控制

可控制HMDS药液添加量

3.12真空泵

无油涡旋真空泵

3.13 保护装置

HMDS药液泄漏报警装置,HMDS低液位报警提示,超温保护,漏电保护等。


会员登录

×

请输入账号

请输入密码

=

请输验证码

收藏该商铺

X
该信息已收藏!
标签:
保存成功

(空格分隔,最多3个,单个标签最多10个字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我们将在第一时间回复您~
拨打电话
在线留言