中显微电子20吨/小时超纯水设备系统工程项目安装调试完成，与中显一期（一期超纯水设备也是益民产）的处理水量是一样，工艺采用也是反渗透+混床，设备是为了满足深圳市中显微电子有限公司黄山工厂生产工艺用高纯水项目。超纯水水量20  m3/h，出水水质大于17MΩ.cm 。

超纯水设备系统制备的主要技术参数

1.前处理产水量 :                  ≥26.7m3/h；

2.反渗透纯水设备系统产水量 :      ≥20m3/h；

3.超纯水设备混床系统产水量 :      ≥20m3/h；

4.产水水质指标  20m3/h     ≥17 MΩ·cm （参照国标EW-Ⅱ）

5.供水压力   0.35Mpa

6.温度：     常温；

超纯水设备系统配置：预处理、反渗透、混床除盐装置。

供水方式连续产出（24小时运行）

超纯水设备系统设计依据
1.本电子工业纯水站工程项目设计依据如下：
2.原水水质分析资料；
3.高纯水的品质要求（产品水水质指标），以及相关国家标准；
4.高纯水的生产规模;
5.用户对系统整体水准要求。

超纯水设备系统布局
预处理部分、反渗透部分、混床部分、17M供水部分集中放置在*水站。为保证高纯水的水质和水量，将整个水处理系统置于PLC控制下运行，并适时监控。

超纯水设备系统工艺流程图